洁净工厂智能搬运设备
液晶面板移载机LUL
卡匣提升/Tray盘垂直输送机

用于液晶面板在高洁净度无尘车间的

跨楼层垂直输送。


1.最大升降速度:90m/min; 

2.桥厢停止定位精度:±1~2mm;

3.最大输送速度:25m/min;

4.水平输送精度:±1~2mm; 

5.洁净环境等级:Class10~1000; 

6.最大载荷:2000kg; 

7.最大扬程:50m;

液晶面板在高洁净度无尘车间内部的水平物流输送的主要设备


1.卡匣归正范围:30mm;

2.卡匣重复归正精度:±1mm;
3.卡匣水平度:±1mm;

4.设备使用环境:

Class10、Class100、Class1000、Class10000;

5.载荷:1000KG;
单双层玻璃旋转机(90度/180度)
单双层玻璃输送机
1.Roller参数:真圆度≤0.15mm,偏摆度≤0.3mm;
2.输送速度:30m/min;
3.重复定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m);
4.整体平行度:≤1mm;
5.旋转精度:θ误差≤0.35°;
1.Roller参数:真圆度≤0.15mm,偏摆度≤0.3mm;
2.输送速度:30m/min;
3.重复定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m);
4.整体平行度:≤1mm;
Foup CV
玻璃翻转机
1.翻转精度:±1mm;
2.输送精度:±0.2mm;
3.设备使用环境:Class100、Class1000;
1.OHT可在此设备取放晶圆盒。
2.可快速传送晶圆盒,可在跨厂别中依照厂房LAYOUT需求布置。
3.将直线CV与旋转单元结合使用。
4.设备洁净度为iso class 100级别。
5. SEMI标准兼容的界面系统。
液晶面板用卡匣

液晶面板主要储存单元。


1.卡匣装载层高:27+0.5mm;

 2.最大载重:700kg; 3.水洗耐热温度:大于120℃; 4.水洗耐热时间:≥20min; 5.材料韦伯硬度:≥12;
6.洁净环境等级:Class10-1000;​​​