液晶半导体等洁净环境专用设备
首页 → 产品服务 → 液晶半导体等洁净环境专用设备
卡匣提升机​
Tray盘提升机​
1.升降速度:45-90m/min，定位精度±2mm；
2.输送速度:12-25m/min，输送精度±2mm；
3.设备使用环境：Class10、Class100、Class1000；
4.载荷:1500KG;
1.升降速度:45-90m/min，定位精度±2mm；
2.输送速度:12-25m/min，输送精度±2mm；
3.设备使用环境：Class100、Class1000；
4.载荷:200KG；
卡匣装载台​
栈板提升机​
1.升降速度:45-60m/min，定位精度±2mm；
2.输送速度:12-25m/min，输送精度±5mm；
3.设备使用环境：普通环境；
4.载荷:1000KG;
1.卡匣归正范围:30mm；
2.卡匣重复归正精度:±1mm；
3.卡匣水平度:±1mm；
4.设备使用环境:Class10、Class100、Class1000、Class10000;
5.载荷:1000KG；
单双层玻璃旋转机（90度/180度）
单双层玻璃输送机
1.Roller参数:真圆度≤0.15mm，偏摆度≤0.3mm；
2.输送速度:30m/min;
3.重复定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m)；
4.整体平行度:≤1mm；
5.旋转精度:θ误差≤0.35°；
1.Roller参数:真圆度≤0.15mm，偏摆度≤0.3mm；
2.输送速度:30m/min;
3.重复定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m)；
4.整体平行度:≤1mm；
玻璃翻转机
Foup CV
1.OHT可在此设备取放晶圆盒。
2.可快速传送晶圆盒，可在跨厂别中依照厂房LAYOUT需求布置。
3.将直线CV与旋转单元结合使用。
4.设备洁净度为iso class 100级别。
5. SEMI标准兼容的界面系统。
1.翻转精度:±1mm；
2.输送精度:±0.2mm；
3.设备使用环境：Class100、Class1000；
MULD
Sotter
1.OHT或AGV可在此设备取放晶圆盒，供人员可手动取放晶圆盒，节省人员移动时间与手动搬运的风险。
2.在PORT前方设置光栅，保证人员与设备的安全。
3.设备洁净度为iso class 100级别。
4.两个PORT位可自由切换LD或ULD，以利人员使用。
5. SEMI标准兼容的界面系统

1.SEMI标准兼容的界面系统。
2.可以配合AGV或OHT取放晶圆盒。
3.采用无X轴的双臂机械手，通过双轴复合运动实现取放片。
4.内部空间洁净度能够满足iso class 1级别。
5内部带有多重互锁保护，从软件到硬件，多重保证晶圆传输过程中的安全，人员与设备的安全