液晶半导体等洁净环境专用设备
卡匣提升机
Tray盘提升机
1.升降速度:45-90m/min,定位精度±2mm;
2.输送速度:12-25m/min,输送精度±2mm;
3.设备使用环境:Class10、Class100、Class1000;
4.载荷:1500KG;
1.升降速度:45-90m/min,定位精度±2mm;
2.输送速度:12-25m/min,输送精度±2mm;
3.设备使用环境:Class100、Class1000;
4.载荷:200KG;
卡匣装载台
栈板提升机
1.升降速度:45-60m/min,定位精度±2mm;
2.输送速度:12-25m/min,输送精度±5mm;
3.设备使用环境:普通环境;
4.载荷:1000KG;
1.卡匣归正范围:30mm;
2.卡匣重复归正精度:±1mm;
3.卡匣水平度:±1mm;
4.设备使用环境:Class10、Class100、Class1000、Class10000;
5.载荷:1000KG;
单双层玻璃旋转机(90度/180度)
单双层玻璃输送机
1.Roller参数:真圆度≤0.15mm,偏摆度≤0.3mm;
2.输送速度:30m/min;
3.重复定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m);
4.整体平行度:≤1mm;
5.旋转精度:θ误差≤0.35°;
1.Roller参数:真圆度≤0.15mm,偏摆度≤0.3mm;
2.输送速度:30m/min;
3.重复定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m);
4.整体平行度:≤1mm;
玻璃翻转机
Foup CV
1.OHT可在此设备取放晶圆盒。
2.可快速传送晶圆盒,可在跨厂别中依照厂房LAYOUT需求布置。
3.将直线CV与旋转单元结合使用。
4.设备洁净度为iso class 100级别。
5. SEMI标准兼容的界面系统。
1.翻转精度:±1mm;
2.输送精度:±0.2mm;
3.设备使用环境:Class100、Class1000;
MULD
Sotter
1.OHT或AGV可在此设备取放晶圆盒,供人员可手动取放晶圆盒,节省人员移动时间与手动搬运的风险。
2.在PORT前方设置光栅,保证人员与设备的安全。
3.设备洁净度为iso class 100级别。
4.两个PORT位可自由切换LD或ULD,以利人员使用。
5. SEMI标准兼容的界面系统

1.SEMI标准兼容的界面系统。
2.可以配合AGV或OHT取放晶圆盒。
3.采用无X轴的双臂机械手,通过双轴复合运动实现取放片。
4.内部空间洁净度能够满足iso class 1级别。
5内部带有多重互锁保护,从软件到硬件,多重保证晶圆传输过程中的安全,人员与设备的安全