洁净工厂智能搬运设备
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液晶面板移载机LUL​
卡匣提升/Tray盘垂直输送机​

用于液晶面板在高洁净度无尘车间的

跨楼层垂直输送。


1.最大升降速度:90m/min； 

2.桥厢停止定位精度：±1~2mm；

3.最大输送速度:25m/min；

4.水平输送精度：±1~2mm； 

5.洁净环境等级：Class10~1000； 

6.最大载荷:2000kg; 

7.最大扬程：50m；

液晶面板在高洁净度无尘车间内部的水平物流输送的主要设备


1.卡匣归正范围:30mm；

2.卡匣重复归正精度:±1mm；
3.卡匣水平度:±1mm；

4.设备使用环境:

Class10、Class100、Class1000、Class10000;

5.载荷:1000KG；
单双层玻璃旋转机（90度/180度）
单双层玻璃输送机
1.Roller参数:真圆度≤0.15mm，偏摆度≤0.3mm；
2.输送速度:30m/min;
3.重复定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m)；
4.整体平行度:≤1mm；
5.旋转精度:θ误差≤0.35°；
1.Roller参数:真圆度≤0.15mm，偏摆度≤0.3mm；
2.输送速度:30m/min;
3.重复定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m)；
4.整体平行度:≤1mm；
Foup CV
玻璃翻转机
1.翻转精度:±1mm；
2.输送精度:±0.2mm；
3.设备使用环境：Class100、Class1000；
1.OHT可在此设备取放晶圆盒。
2.可快速传送晶圆盒，可在跨厂别中依照厂房LAYOUT需求布置。
3.将直线CV与旋转单元结合使用。
4.设备洁净度为iso class 100级别。
5. SEMI标准兼容的界面系统。
液晶面板用卡匣

液晶面板主要储存单元。


​1.卡匣装载层高：27+0.5mm；

 2.最大载重：700kg； 3.水洗耐热温度：大于120℃； 4.水洗耐热时间：≥20min； 5.材料韦伯硬度：≥12；
6.洁净环境等级：Class10-1000；​​​